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淺述鐘罩窯的各組成部分作用

點擊次數(shù):   更新時間:23/04/22 15:28:04     來源:www.udilm.com關閉分    享:
  鐘罩窯是一種科學技術材料。窯爐外形如一座高大的鐘。燒成時需將窯體罩在產品上,燒成完畢再將鐘罩吊起來,放在一旁。它特別適用于燒成特大型的絕緣子電瓷產品及大件的藝術陶瓷產品。
  鐘罩窯所提供的燒結窯爐的主要特性是效率比較高,其智能控制系統(tǒng)和其他設備構成了一個完整的功能單元,可充分滿足鐵氧體行業(yè)近乎藝術級的要求??梢愿鶕枰帉懞蛢Υ嫒魏蔚臏囟?氣氛曲線,來生產高質量的產品。除此以外還可以根據實際需要及時生產任何其他產品,從而縮短交貨期和降低成本。在燒結時僅僅需要少數(shù)操作人員,裝載和卸載可以在白天完成,而燒結可以在夜間完成,實現(xiàn)電力調峰,在當今電力緊張情況下,十分實用。
  目前設備可用于砷化鎵、硅以及其他半導體材料,離子注入后的退火、硅化物的形成、歐姆接觸制備以及快速氧化、快速氮化等方面。鐘罩窯主要由真空腔室、加熱室、進氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)、氣冷系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)等幾部分組成的,下面來了解下各組成部分的作用:
  1、真空腔室:鐘罩窯真空腔室是其工作空間,晶圓在這里進行快速熱處理。
  2、加熱室:加熱室以多個紅外燈管為加熱元件,以耐高溫合金為框架、高純石英為主體。
  3、進氣系統(tǒng):真空腔室尾部有進氣孔,控制的進氣量用來滿足一些特殊工藝的氣體需求。
  4、真空系統(tǒng):鐘罩窯在真空泵和真空腔室之間裝有高真空電磁閥,可以有效確保腔室真空度,同時避免氣體倒灌污染腔室內的被處理工件。
  5、溫度控制系統(tǒng):溫度控制系統(tǒng)由溫度傳感器、溫度控制器、電力調整器、可編程控制器、PC及各種傳感器等組成。
  6、氣冷系統(tǒng):鐘罩窯真空腔室的冷卻是通過進氣系統(tǒng)向腔室內充入惰性氣體,來加速冷卻被熱處理的工件,滿足工藝使用要求。
  7、水冷系統(tǒng):主要包括真空腔室、加熱室、各部位密封圈的冷卻用水。

  以上就是鐘罩窯的七大組成部分及作用,到這里小編的分享今天就結束了,希望今天分享的內容能夠對大家有所幫助,若大家還有其他想要了解的問題,歡迎隨時聯(lián)系我們進行咨詢。

2023.12.6  ZG

鐘罩窯

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工廠地址:山東省淄博市張店區(qū)南定鎮(zhèn)億達路

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